二手 AMAT / APPLIED MATERIALS / AMJ Mirra 3400 #293606439 待售
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單擊可縮放
ID: 293606439
優質的: 2001
CMP System
(4) TITAN, 8"
(3) Chamber carriers
(3) Coated platens, 20"
ISRM enabled, 20"
Peristaltic pumps
(2) Per platen
(4) Wet cassettes, 8"
Wet in wet out capable, 8"
E/P Regulator setup on the cross
Port rotary union
Typical wear and tear
Does not include Nova patterned recognition unit
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AMJ Mirra 3400是一款先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備,提供卓越的性能、精度和可重復性。這種最先進的設備為整個過程控制和系統優化設定了行業標準。AMJ Mirra 3400配備了一整套自動化功能和組件,可確保精確、可重復的結果。這包括先進的運動控制單元、伺服控制流體泵、實時溫度控制，以及用於晶圓精密研磨拋光的獨立壓力和真空調節。該機還配備了一個反應靈敏的動態壓力控制工具，可以自動調整和優化壓力分布，以提高效率和最大限度地減少材料損失。該資產旨在適應各種工藝配置，如單面或雙面研磨和漿料拋光技術。它的模塊化設計允許用戶使用額外的組件來定制模型，如背磨附件和壓力測量裝置。為了最大程度地方便用戶,AMAT Mirra 3400與AMJ TrueView圖形用戶界面（GUI）集成在一起。這使得用戶可以通過直觀的顯示，輕松實時地監控和調整拋光工藝的設置。此外，該設備還配備了一系列先進的安全功能，包括一個近距離傳感器，用於監測研磨和拋光操作，並確保所有部件在操作過程中保持靜止。Mirra 3400還包括一個串聯振動控制系統和一個聲學監測單元，用於檢測機器故障，提醒用戶註意任何潛在問題。這款來自AMAT的功能齊全的工具非常適合生產當今用於精密光學的高性能晶片和微透鏡陣列。這項資產提供可靠和準確的結果-保證卓越的產品質量,提高過程效率和可重復性.
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