二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CMP 5201 #9113497 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CMP 5201是一種晶圓研磨、研磨、拋光設備，能夠處理多達八英寸（200毫米）的晶圓。該系統的工作原理是先用金剛石研磨工具研磨晶片，然後用金剛石圈研磨，最後用松散的金剛石磨料拋光，形成平坦光滑的表面。AMAT CMP 5201包括一個機器人晶圓機械手、一個裝有兩個介質罐的介質櫃和兩個清洗系統。晶圓機械手具有完全可調的伸展臂，具有自動和手動加載模式。這允許精確定位和可重復操作。媒體櫃由兩個坦克組成，分別用於從一側向另一側研磨、拉圈和拋光晶片。坦克還配備了自動和手動控制，以便於操作。清潔系統通過在研磨、研磨和拋光循環之間自動清潔介質罐來減少停機時間。此外，該單位還配備了空氣質量監測儀，以提高安全性和減少對環境的影響。APPLIED MATERIALS CMP 5201的研磨研磨工藝旨在通過從一側去除材料而使另一側保持不變來細微改變晶片的表面。為此，該機采用了各種尺寸和形狀的金剛石塗層磨輪。磨削介質的砂礫尺寸將手動調整並監控以獲得所需的結果。研磨過程後，將晶片研磨，進一步調整表面輪廓，使其變成光滑均勻的光潔度。用於研磨的金剛石比研磨過程中使用的金剛石小，並以較低的壓力施用，以完成晶圓的表面。最後，晶片用松散的金剛石磨料拋光，進一步平滑表面，使其具有明亮的反光光潔度。CMP 5201是一種多功能、堅固的晶圓研磨、研磨和拋光工具,能夠為各種應用提供一致、高質量的結果。它可調的機械臂、介質罐和清潔系統使機器易於使用，長期使用可靠。此外，它的空氣質量監測確保操作安全和環境影響最小化。因此,AMAT/APPLIED MATERIALS CMP 5201是在晶圓拋光操作中實現高質量結果的有效工具。