二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CMP 5201 #9233177 待售
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已售出
ID: 9233177
優質的: 2003
System
With heat exchanger
Load cassette type: Ergo loader standard cassette
Controller / Computer type: Windows XP
Polish process: Glass & SU8 for MEMS devices
Polish heads: (4) Titan II Heads
(3) Platens
No inline metrology
Wafer scrubber: Mesa type scrubber
Spray type: Brush
Slurry feed: Bulk feed
Pad conditioner arm type: DF3
Slurry flow controller type: Capillary
No endpoint detector
No ISRM
Balanceworks upper pneumatic upgraded
CE-Marked
Power supply: 208V, 3-Ph, 50/60Hz
2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS CMP 5201是一種高度先進的精密工程晶圓研磨、研磨和拋光設備。它旨在為各種晶圓尺寸和類型的應用提供最佳性能。該系統配備了先進的研磨板控制單元(LPCS),使用戶能夠準確調制整個研磨過程並控制表面紋理。LPCS提供了對研磨板和晶片之間壓力的精確控制,從而提高了精度,改善了表面質量。它還使用戶能夠運行各種磨削配方,以最大限度地提高工藝產量、減少間隙並實現所需的表面光潔度。AMAT CMP 5201可以裝載各種拋光材料,采用顆粒或流體懸浮液。也可用於應用各種溶液和化合物如光致抗蝕劑。這些溶液可以應用於層狀晶片,使晶片表面能夠按照追捧的輪廓進行修改和拋光。該機采用兩個磨頭,進一步促進了預磨、粗磨和精磨等多步磨削作業。該刀具還具有獨立的電機控制器,可改進對磨削速度的調制控制。這樣可以實現更精確和一致的研磨,從而獲得更好的性能和更高的產量。易於編程的選擇菜單使用戶能夠快速調整和微調流程參數,並最大限度地減少大驚小怪。APPLIED MATERIALS CMP 5201的許多特性結合在一起,使其成為晶圓加工操作的理想解決方案。它適用於廣泛的應用,能夠產生最高質量的結果。該資產是為低噪聲操作而設計的,減少了環境汙染的可能性,同時也提供了更愉快的工作體驗。CMP 5201是高精度晶圓研磨、研磨和拋光操作的絕佳選擇。
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