二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CMP Head for Mirra Mesa #293655977 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CMP Head for Mirra Mesa是用於半導體器件和元件制造的理想晶圓研磨、研磨和拋光設備。它能夠加工多種基材，包括但不限於Si、Ge、III-V和PCB材料。它為傳統和先進的CMP流程提供了全面的一站式解決方案。磁頭由八個具有獨立工藝參數的不同磨頭和八個工藝模塊組成，為用戶提供晶圓研磨、研磨和拋光方面的非凡靈活性。平臺的高精度、多軸主軸提供高達500 RPM的轉速，可以根據需要進行調節，以確保一致且可重復的拋光效果。其高扭矩、長占空比的主軸設計為微紋理研磨拋光工藝提供了穩定的基礎，使用戶可以制作平面和不均勻的表面。頭部還配備了主軸冷卻系統，有助於減少主軸磨損，從而延長工藝運行時間。AMAT CMP Head具有單一晶片攪拌磨削（ITG）技術和區域研磨能力,可提高晶片通量和改善表面質量。它還提供了可拆卸的單端口和雙端口處理選項以及自動寬度調整選項。雙端口選項允許在同一基板上對不同材料進行分層，使其適用於多層設備的生產。Mirra Mesa的AMAT CMP Head配備了專門的PLC和HMI界面，提供圖形用戶界面和手動控制操作，以及編碼功能和實時過程監控選項。它使用戶能夠在刀具設置和實際過程中節省時間,因為它能夠存儲多達50個重新循環的配方,從而減少了在周期之間重新加載參數設置的需要。APPLIED MATERIALS CMP Head for Mirra Mesa還提供了一系列安全功能。它提供了電源倒置聯鎖安全開關、燈簾和安全墊，以確保操作員的安全。此外,該單元還提供一系列監控功能,如視覺攝像頭、自動膠片檢測和模眼,以確保對每個拋光晶片的質量控制。此外,該機器還提供了一系列選項和升級,包括自適應電源控制（APC）功能和自動晶圓識別,以便於晶圓跟蹤。該工具還可以與其他APPLIED MATERIALS模塊（如Hazimark模塊）或其他提供的或第三方系統集成,用於無縫自動化晶圓制造過程。