二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Counter head for Reflexion #293667549 待售

反射晶片研磨、研磨和拋光設備的AMAT Counterhead旨在為用戶提供高度精確的高速研磨、研磨和拋光晶片。Counterhead與Reflexion核心機配合使用，以有效引導和控制過程。Counterhead組件由四個與系統集成的摩托化軸組成,為晶圓研磨、研磨和拋光過程提供必要的功能。Counterhead使用兩個主要的機動軸：Y軸和X軸。Y軸是安裝在設備框架上的電動線性運動軸。這有助於研磨操作所需的線性運動。這個相同的軸也將主軸移動到晶圓上方，以便將其定位用於研磨和拋光過程。X軸是一個轉向軸,用於操縱主軸並支撐主軸,同時提供精細研磨和拋光操作所需的精度。Counterhead還具有兩個附加的電動軸,它們與兩個主電動軸結合使用。這兩個附加軸稱為旋轉軸和螺距軸。旋轉軸是允許磨削/拋光主軸連續旋轉的電動旋轉運動軸。這對於在拋光過程中實現晶片表面的均勻性至關重要。螺距軸用於使研磨/拋光主軸的運動與Table Z-Axis同步,以確保在研磨和拋光過程中主軸始終正確放置在晶片上。臺面利用精密控制元件進行高精度的研磨和拋光操作。其設計優化晶圓運動、驅動運動和臺式速度。機器內的所有摩托化軸都經過精確同步,並提供最高級別的性能。Counterhead還具有直觀的用戶界面,使操作員能夠輕松地設置和調整研磨/拋光工藝的參數,從而最大限度地提高效率。反射晶圓磨削、研磨和拋光工具的應用材料對位是反射資產的重要組成部分。其精確的高速機動化軸使晶圓的精密和高度精確的研磨、研磨和拋光能夠創建均勻和幹凈的表面,用於各種應用。