二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mesa #293614950 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Mesa是一種自動化的閉環機器人設備，用於晶圓和其他半導體材料的制造、研磨、研磨和拋光。它采用了最新的現場過程控制技術,允許優化步驟和重復過程的幾何形狀,從而確保最高精度和可重復性。該系統設計用於處理具有各種基材類型、形狀和尺寸的晶片。該裝置配備了先進的機器人控制機器以及多個運動軸和一個用於晶圓處理的機械臂。該控制工具可用於編程各種表面制備操作，如研磨、研磨、拋光和拋光。機械臂將晶片定位在研磨塊上，允許每個單獨晶片的精確和可重復定位。該資產還包括一個太陽能電池檢測站，以驗證每個加工過的晶圓在晶圓接合前沒有缺陷。還提供了基板運輸和裝載模型，以促進最大限度地利用設備的能力。機器人控制器和基板傳輸系統可以與光學檢查、電阻測試和熱成像系統等其他自動化系統集成。還包括晶圓研磨、拋光和拋光站，研磨石塊、磨料和工作產品可通過設備的多軸機械臂裝卸。該站能夠產生各種各樣的拋光表面，並且可以根據特定工藝的需要進行定制。機器可以與一個環境室連接，允許在受控的、無汙染物的大氣中加工和檢查晶片。該工具的汙染控制機制包括使用環境室、溫度和濕度監測和控制以及粒子計數。此外，資產的真空模型可以疏散腔室，確保低汙染環境。AMAT Mesa設備是用於晶圓和其他半導體材料的制造、研磨、研磨和拋光的可靠且高度先進的系統。其精密的機器人控制單元允許對每一個晶片進行可重復、量身定制的處理，而其全面的汙染控制機制則確保只生產質量最高的晶片。