二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mesa #9295107 待售
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單擊可縮放
ID: 9295107
晶圓大小: 8"
CMP Cleaner, 8"
Main power box, 12"
Lower electronic:
Mega
System
(2) Brushes
SRD
Mega LDM
Brush module:
Brush bath
Brush OP / Cis Cylinder
Sensor type
Motors
Brush LDM Direct type:
Valves
LDM Box and slide
SRD Module:
SRD Bath
Motor
Megasonic generator
Mega heater
Fan filter unit
Walking beam
Cover door pin and Interlock switch
Other sensors:
Wafer present sensor
Level sensor
Leak sensor
OP Sensor
CLS Sensor
Air fitting:
Lower electronic air tubing assy fitting
Check air fitting
Cables:
Walking beam lower electric cable
Brush lower electric cable
SRD Lower electric cable.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mesa設備是晶圓研磨、研磨和拋光系統。它提供高精度、高通量的晶圓研磨、研磨和拋光工藝操作，並提供最高水平的精度和可重復性。該單元可配置為單次進行多次研磨、研磨、拋光和蝕刻後清洗操作，非常適合以多種格式處理不同類型的半導體和光伏晶片。AMAT Mesa機在精密工程鋁制框架上使用多級磁力萬向節臺。這樣可以確保每張桌子都經過精確校準,從而實現一致和可靠的研磨、研磨和拋光工藝。該工具具有低調的設計,允許最大限度地使用表來處理各種晶圓尺寸。APPLIED MATERIALS Mesa資產還具有易於使用的控制器,能夠精確設置研磨、研磨和拋光參數。Mesa模型還具有許多安全功能,可增強操作員的安全性。這些功能包括用於操作員監控的標準攝像機、信號視覺,以便操作員能夠從異地監視過程,以及在檢測到不安全情況時發出信號警報。該設備還具有限制臺面速度的能力，以及在研磨和拋光操作進行時限制扭矩傳遞的能力。這樣可以確保材料的安全處理。AMAT/APPLIED MATERIALS Mesa系統在稱為Z-CT063的專用軟件上運行,該軟件可啟用預設操作參數並允許自定義參數配方。這樣可以確保每個操作都能一致、準確地執行。AMAT Mesa單元上提供的其他高級功能涉及進程監測，包括反向清潔能力，有助於減少作為進程一部分需要進行的清洗數量。總體而言,應用材料梅薩是晶圓研磨、研磨和拋光操作的理想解決方案.其現代化的設計，易於使用的控制和眾多的安全特性，使其成為半導體和光伏產業的優越選擇。
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