二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra 3400 Titan 1 #9114847 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400 Titan 1晶圓研磨、研磨、拋光設備提供晶圓表面幾何參數的精確控制，以方便先進的半導體研究和測試/生產應用。該系統具有沿多個軸的全系列電動運動，並能夠生產尺寸可達8英寸的最終平面化晶片。AMAT Mirra 3400 Titan 1配有集成的晶圓帶單元，並設計有高精度的無振光表。它旨在在補償機器機械部件引入的幹擾的同時促進精確運動。APPLICED MATERIALS Mirra 3400 Titan 1能夠進行高精度的精密研磨和拋光工藝,包括拋光,以滿足超光滑的表面地形標準。配備無刷伺服電機，高速精準運動，動力控制和優越的輪廓可控性。嵌入式機器視覺攝像機自動檢測晶片邊緣，用於晶片對晶片的精確處理。嵌入式機器視覺功能還包括自動晶片定向性能、識別用於匹配生產程序的中心和離群晶片。該工具由一個剛性鑄鋁合金底座組成，該底座經過溫度補償，以確保資產的熱穩定性。此特性還有助於目標導熱系數和改善聲音衰減。Mirra 3400 Titan 1配備了先進的觸摸屏控制模型,可監控工藝參數,並可精確控制研磨/拋光速度、方向和結果。該設備還旨在最大限度地減少清潔要求和停機時間。它利用液壓拋光頭進行有效的晶圓運輸、操作和處理。該系統配備了一個溫度排氣罩，分散來自機組的熱量，減少空氣中的汙染。此外，封閉的工作室經過過濾和加壓，防止空氣中的汙染物逸出。AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400 Titan 1晶圓研磨、研磨、拋光單元的先進設計在研究和生產應用中提供了精密高效的晶圓表面加工。它是先進半導體加工的理想解決方案，允許晶圓的精確研磨和拋光，而不會帶來太多噪音或汙染。