二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra 3400 #9025888 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400晶圓研磨、研磨和拋光設備結合了先進的工程和高質量的制造，提供了完全集成的晶圓研磨、研磨和拋光解決方案。該系統專為高吞吐量和優越的表面質量而設計,適用於要求最高精度和精度的加工應用。該單元非常適合半導體、光電和MEMS制造過程。AMAT Mirra 3400采用全自動物料處理機,可最大限度地提高過程吞吐量和效率。該工具能夠處理各種晶圓大小和形狀,並且可以直接支持多達四個工作模塊。每個模塊都包括自己的機器人，方便晶片的快速裝卸。晶圓研磨、研磨和拋光部分包括數字微速控制資產,可在一定速度範圍內調節,並具有減振空氣軸承主軸,可提供卓越的表面光潔度。研磨主軸既可用於金剛石研磨，也可用於CBN研磨。研磨和拋光級采用高力和可編程轉彎、速度或扭矩控制設計，具有可靠和可重復的性能。APPLIED MATERIALS Mirra 3400還包括集成的模型控制器和用戶友好的操作員界面，用於監視、控制和調整所有設備參數。這使用戶能夠輕松配置其流程設置並實時查看系統狀態和數據。該單元還包括一個集成晶圓預對準站，以提高工藝均勻性。此外，該機還提供了一個集成的粒子測量站，可用於精確分析過程中各個階段的粒子汙染。這樣可以確保工具的過程結果可靠且可重復。該資產經認證符合潔凈室要求以及所有主要安全標準。Mirra 3400晶圓研磨、研磨和拋光模型是各種制造工藝的理想交鑰匙解決方案,提供卓越的性能、準確性和吞吐量。該設備提供了一個全自動的過程解決方案,可在滿足最嚴格的安全和質量標準的同時,以無與倫比的速度和產量實現一致和可重復的結果。