二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra 3400 #9181998 待售
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ID: 9181998
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
Polisher, 8"
Cassette que: (4) Wets
Handling: Wet in / Wet out
(3) Platens
(4) Polish heads
Slurry delivery: Peristaltic pump
Slurry configuration: A, AB, C
ISRM P1: Full scan
ISRM P2: Full scan
ISRM P4: Full scan
UPA: IT/RR/MEM/EC
UPA Supply: Nitrogen gas
Head types: Profiler (Titan II option) / Titan I/W+
Head ring material: PPS
Pad conditioner: DDF3
Min/Max platen speed: 0 - 125rpm
Min/Max head rotation: 0 - 125rpm
Head sweep range: 4.2 - 5.8
PC Sweep range: 1.7-9.0
Min/Max PC rotation: 0 - 125rpm
Min/Max slurry flow: 50 - 240ml/mn
Min/Max head pressure: 0.5-14psi
Min/Max PC downforce: 3.0-17lbf
Endpoint software: IS11e9
Polisher software: PS50g0
Hard drive configuration: NT4.0/68 pin SCSI
1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400是一種晶圓研磨、研磨、拋光設備，用於半導體基板的表面制備和精加工。AMAT Mirra 3400旨在提供手動和自動化操作,以及在單個平臺上的各種研磨、研磨和拋光操作。系統可以處理多種基板尺寸，從150毫米到450mm。APPLIED MATERIALS Mirra 3400提供四種不同的研磨操作,允許用戶以最短的安裝時間和各種拋光操作（包括最均勻表面的單面或傾角拋光操作）從表面研磨切換到邊緣研磨。該裝置能夠研磨非圓形基板，消除應力，允許更精確的加工。Mirra 3400還能夠自動制備和拋光表面。機器配備了全自動的可編程進料工具和自動線性拋光，讓用戶從頭到尾控制整個過程。AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400的高級軟件還允許對參數進行微調,從而無需繁瑣的手動校準。AMAT Mirra 3400具有模塊化設計,便於升級和靈活性。資產可以迅速重新配置，以便使用多種研磨、研磨和拋光部件，包括金剛石和金剛石混合墊、水浸和飛濺以及表面活性劑分配器。有關更多信息,APPLICED MATERIALS Mirra 3400包含磨削和拋光循環及參數的綜合數據庫。最後,Mirra 3400已通過安全認證,具有ESD保護和安全機箱,能夠安全運行。該模型還提供環境保護，配備除塵設備，含有液體過濾，並在發生任何意外情況時自動關閉研磨和拋光工藝。
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