二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra 3400 #9276039 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra 3400
ID: 9276039
CMP System.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400是一款專用的晶圓研磨、研磨、拋光設備,提供高精度的內存和磁性設備陣列。它設計用於精確清潔和拋光單個晶片或批次晶片。該系統采用低壓、高壓、溫水和冷水密封裝置,達到最大效率。AMAT Mirra 3400由晶圓制備站和研磨拋光子系統兩個主要部件組成。晶片制備站用於在研磨拋光機中加工之前對晶片進行清潔、脫膠和系統化處理。這包括脫膠溶液、磨料和真空工具,以及保護晶片免受損壞的掩模。研磨和拋光子系統包括一個獨特的多軸機器人臂,它將晶片從制備站移動到金剛石研磨盤。機器人臂能夠精確放置晶片,以確保晶片在整個過程中保持一致的曲率半徑。然後將晶片牢固地夾在金剛石研磨盤中,金剛石研磨盤以均勻的表面光潔度旋轉晶片。然後將金剛石研磨盤移動到拋光站,在那裏晶圓進行進一步的清潔和拋光。該拋光站采用了一系列專門的拋光流體和磨料介質,以達到所需的光潔度和表面輪廓。一旦達到所需的表面光潔度,晶片可以有選擇地移動到後處理站,也可以移動到旨在提高特征精度或改進其輪廓的蝕刻站。研磨拋光資產可以針對不同的晶片尺寸進行調整,能夠處理各種晶片材料,包括矽、鋁、藍寶石和陶瓷。APPLIED MATERIALS Mirra 3400是一種可靠、高精度的模型,提供快速、高效、全面的晶圓研磨、研磨和拋光工藝。它是內存和磁性器件生產和制圖的理想解決方案,能夠產生高質量和一致的表面飾面。
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