二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra 3400 #9277696 待售
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ID: 9277696
優質的: 2000
CMP System
FABS Cassette system
Mirra polisher
Ontrack cleaner
Missing parts:
(3) Slip rings
Platen 3 lower skin
PC3 End effector
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400是為先進半導體器件制造而設計的晶圓研磨、研磨、拋光設備。該系統旨在為制造商提供高通量、高效可靠的精密晶圓研磨、研磨和拋光解決方案。該單元支持同步和異步多主軸配置,並利用各種磨料和拋光墊。AMAT Mirra 3400具有模塊化體系結構,每個模塊都針對特定應用程序進行了優化。機器的主要模塊包括主軸、皮帶、泵和晶片卡盤組件。主軸具有多個高扭矩的直驅電動機,允許對研磨、研磨和拋光過程進行精確的調整和控制。皮帶工具的設計是為了減少振動和彎曲,以確保一致的結果,無論材料。泵的資產為刀頭提供冷卻劑和磨料,而晶片卡盤組件則保持熱量和壓力對晶片的均勻分布。APPLIED MATERIALS Mirra 3400還通過其基於PC的集成生產控制實現了高性能自動化。這款集成PC允許控制型號的硬件和軟件,包括對工藝參數的調整、對設備狀態的監控以及生產數據收集。它還與各種第三方系統和控件集成,提供進一步的自定義選項。該系統的高精度伺服電機提供了出色的粒子控制和動態過程,而完全可編程的過程配方確保了即時啟動和改進運行時間。此外,Mirra 3400具有緊湊、符合人體工程學的設計和堅固的結構,可確保長期重復使用的輕松維護和可靠性。總體而言,AMAT/APPLICED MATERIALS Mirra 3400是一種高度可定制和高效的晶圓研磨、研磨和拋光裝置,旨在滿足現代設備制造的最高標準。它為用戶提供了先進的自動化、可編程配方和一個高度可靠的平臺,以確保持續的性能,每次都能取得優異的效果。
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