二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra / AS 2000 #9293819 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra/AS 2000晶圓研磨、研磨和拋光設備是由AMAT, Inc.開發和生產的大型自動化生產機器。專為半導體、醫療、研究機構使用而設計,是一個用途廣泛、功能強大的單元,目的是高速研磨和拋光各種形狀和材料的晶片。該系統包括兩個主要組件-主觸摸屏控制臺和研磨/研磨/拋光單元。這兩個組件都通過高速工業網絡進行通信,從而實現快速高效的操作。主觸摸屏控制臺是單元的大腦,包含各種控制研磨/研磨/拋光過程的程序。它包括一個方便用戶的界面,用於上載流程映射和設置單元的參數。它還配備了一個配方庫,因此所需的修改可以很容易地獲得和存儲以備將來使用。磨削/研磨/拋光裝置是機器的實際工作部件。它們每個都有一個單獨的電動主軸,可容納多達12英寸(300毫米)的晶片。設備上的電動機可根據所需的速度和功率設置單獨調節,以便在最短的時間內達到所需的結果。此外,它們還包含水冷磨石、精密研磨輪和圓柱形或圓錐形拋光輪。研磨/研磨/拋光工藝分為三個主要階段。首先,晶片安裝在夾具上,砂輪用來將晶片材料粗糙研磨到中間形狀。粗糙磨削完成後,研磨輪用於完成磨削表面,在整個表面產生均勻的磨削,缺陷最小。最後,拋光輪對表面進行拋光,達到理想的反射率、清晰度和光滑度水平。總體而言,AMAT Mirra/AS 2000晶圓研磨、研磨和拋光工具是一種用途廣泛、功能強大且高效的工具,可在快速生產環境中生產高質量的晶圓表面。此資產使用戶能夠以高度的精確度和成功來研磨和拋光多達12英寸(300mm)的晶片。這臺機器具有易於使用的圖形用戶界面、精密的切割和拋光工具以及自動化的過程,可提供高可重復性,且浪費最少。
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