二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra / AS 2000 #9293821 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra / AS 2000
ID: 9293821
CMP System Titan head.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra/AS 2000是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在提供高精度研磨,同時保持卓越的吞吐量。這個堅固的平臺能夠研磨、研磨和拋光尺寸達300毫米的晶片,超精密拋光分辨率高達0.2 μ m。系統特征的精確組合使其成為各種晶圓研磨應用的理想選擇,從細粒和高通量基板到銅、鋁和摻雜纖維基板,以及玻璃、陶瓷或彈性化合物等復合結構。AMAT Mirra/AS 2000集成了卓越的設計功能,包括可完全調節的研磨、研磨和拋光臺,可保持平坦的表面並允許極其精確的運動,從而實現極其可重復的過程。該機組還配備了高精度伺服控制電機,可實現精確研磨、研磨和拋光循環,以及快速加速、減速和速度控制。此外,雙壓力控制可以準確調整力和速度,以確保最佳研磨和拋光效果。APPLIED MATERIALS Mirra/AS 2000還提供了一套軟件附加組件,以減少設置時間和最小化編程時間。這些附加組件包括集成的DrOscillation,這是一個高級圓周運動程序,可自動計算每種材料的最佳切削模式。該機還配備了全4軸數字控制接口,用於研磨臺和介質的精確移動,允許全自動操作。此外,該工具還具有廣泛的監控和安全功能,可確保安全、高效的研磨過程。Mirra/AS 2000是精密晶圓研磨、研磨和拋光應用的最佳選擇。其強大的設計、集成的高級功能和全套軟件附件使其成為需要高精度和卓越吞吐量的應用程序的理想資產。
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