二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra DNS #9263082 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra DNS
已售出
ID: 9263082
晶圓大小: 8"
CMP System, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra DNS是一種最先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統旨在滿足半導體行業的需求,提供更大的靈活性和能力,以支持不斷擴大的應用範圍。該裝置具有較短的循環時間、高通量和精確度,可自動研磨、研磨和拋光直徑不超過8英寸的晶片。該機采用先進的工藝控制,精密控制晶圓,操作平穩.AMAT Mirra DNS提供高性能研磨、研磨和拋光功能。該工具有2個磨削和研磨子孔和一個單一的磨削和拋光模塊。該子孔徑允許更高級別的過程控制,提供改進的晶圓平面化和邊緣質量。拋光模組類似單點服務方式,允許整個過程的拋光條件調整,包括表面粗糙度和均勻度。該資產的設計具有強大的流程功能和嚴格的流程控制。APPLICED MATERIALS Mirra DNS有全自動裝卸晶片升降機,可容納直徑達8英寸的晶片,厚度可達100微米。該模型提供了高速伺服驅動的磨削拋光進料設備,具有自動表面控制和空氣軸承,以確保光滑和精確的材料去除。該系統具有高級自動化功能。它允許快速、準確地設置多個流程程序。Mirra DNS允許通過直觀的圖形用戶界面(GUI)遠程監視和控制研磨、研磨和拋光過程。GUI還為用戶提供實時晶片參數,以確保最佳工藝周期和最佳晶片質量。AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra DNS設計具有強大的高通量平臺,可提供最高的晶圓質量和生產率。該單元使用直接驅動電動機和可編程運動來提供詳細的晶圓控制,並確保晶圓吞吐量。自動化機器使用戶能夠以經濟高效的方式實現高水平的精度和統一性。AMAT Mirra DNS是半導體公司努力降低成本和提高效率的重要過程。
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