二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Integra #9265796 待售
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單擊可縮放
ID: 9265796
晶圓大小: 6"
優質的: 1998
System, 6"
Box 1:
Type: Through-the-wall
(4) SMIFs
CPU Board type: 400 MHz or Higher
Box 2: Mirra Track
Box 3: Oxide
Box 4: Dry in / Dry out
Box 5:
Signal lamp tower
No Bolt-on SMIF
No integrated SMIF
Box 6:
Cassette tank: Standard
Robot type: 112" Stand alone
Cleaner type: ONTRAK
Spray gun: Single
No In-situ removal rate monitor
No IPM
Box 7:
Polish heads: Titan 1
Rings: AFP
Wafer loss sensor: Dual sensor
Box 8:
Teflon coated platens
Pad type: IC 1000
Pad conditioner head: DDF3
Pad conditioner disc: TBW
Universal disk holder
Temperature control: None
Box 9:
Slurry / Platen used
Flow rate: Standard
Dispense arm: Standard
No slurry flow monitors
Box 10:
Nova type: Wet out
No interface monitor
No notch finder
Box 11:
Membrane type: FPDM
4-Port UPA upper
Box 12:
Polish heads: 6" Titan
Grooved retaining rings
Dark pad wafer loss sensor
Box 13:
Pad type: IC 1000
Pad conditioner disc: ABT
Universal disc holder
Box 14:
MESA Cleaner type
On-board mixing
Chemical A: Ammonia Hydroxide
Pressurized delivery type
Precision spray bar
CLC Brush box with on-board mixing
Scrubber 1 and 2:
Brush type: Rippey microclean
Delivery type: Direct feed
Manuals and cables included
Power supply: 208 V, 3 Phase
1998 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra Integra是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,設計用於高效加工具有多種研磨介質的脆性材料。該系統用於各種應用，包括生產半導體和MEMS器件。該單元由一個裝有磨輪和研磨板的基本單元和一個控制器單元組成，該控制器單元允許用戶控制研磨設備並調整參數以滿足所需的結果。AMAT Mirra Integra擁有堅固的結構，包括鋁制底盤、不銹鋼工作板和陶瓷元件。應用於APPLIED MATERIALS Mirra Integra的研磨機精度和精度都很高。磨輪的設計目的是在整個材料表面提供一致的結果。對磨削介質進行了優化，減少了板材磨損，最大限度地減少了工件損壞。此外，研磨介質還能夠容納表面不同的基板。Mirra Integra的研磨板設計為提供均勻的研磨表面，將應力均勻地分布在整個工作表面。這有助於減少工件上的應力,從而降低表面粗糙度並改善零件壽命。研磨板配有兩個可調節的夾具，使其能夠根據特定的應用要求進行調整。AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra Integra的拋光工藝采用化學和機械方法相結合，達到了高質量的拋光效果。所使用的拋光介質經過精心設計,可實現受控且一致的精加工過程,從而獲得非常精確的結果。AMAT Mirra Integra的自動化過程控制機器允許用戶調整研磨設備參數以確保最佳效果。控制器還提供工件表面粗糙度的反饋,並且在超出預定閾值時可以觸發警報。總體而言,APPLIED MATERIALS Mirra Integra是一種非常先進和可靠的晶圓研磨、研磨和拋光工具,可用於在極少數時間內獲得高精度結果。
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