二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa 3400 #9262475 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa 3400
ID: 9262475
CMP System.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra Mesa 3400是一款先進的晶圓研磨、研磨、拋光設備,旨在提高晶圓級制造的吞吐量和質量。該系統能夠在單個工藝室內處理多達18英寸的晶片。該裝置提供高精度的兩軸研磨、平面化、研磨和晶片清洗。AMAT Mirra Mesa 3400配備了環保防水閉環Robostop™機。此工具消除了手動幹預,並減少了與手動拋光工藝相關的昂貴停機時間。此外,資產還包括一個完全封閉的機械臂,它能夠捕獲、轉移和放置晶片在拋光室內,同時仍然提供對過程的精確控制。該模型提供了對壓力、節氣門和拋光速度等變量的精確控制。該設備具有高慣性亞微米級研磨板,可實現精確的圖樣定位和精加工控制。該工藝室采用集成冷卻器提供主動冷卻,這有助於確保晶片在拋光後迅速冷卻。該系統還通過視覺傳感器和制造過程數據庫提供集成部件識別,以提供完整的可追蹤性。APPLIED MATERIALS Mirra Mesa 3400設計用於大容量晶片制造應用,每小時可處理40多個晶片。該單元由不銹鋼底架構成,可進行精確的調平和方便的維護。此外,該機還提供可編程運動控制,允許機器人定位器和壓板的精確運動,以確保均勻研磨和拋光。該工具旨在滿足半導體和MEMS晶圓制造商的嚴格要求。該資產提供了用戶友好的操作和直觀的軟件,不需要較長的設置時間和較長的學習曲線。Mirra Mesa 3400提供高吞吐量、卓越性能以及精確的晶圓傳輸和過程控制。
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