二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #293771203 待售
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單擊可縮放
ID: 293771203
晶圓大小: 6"
優質的: 2011
Chemical Mechanical Polish (CMP) system, 6"
Equipped with integrated NOVA Measurement system
Process: Oxide
Wafer shape: Flat
Factory interface:
Cleaner type: Mesa
Megasonics
WET Robot
Nova 2040 In-line metrology system
Interface: SECS / GEM
Controller CPU Type: 5201
25-Slot cassette
Platen and head options:
Polishing head: (4) Profiler heads, 6"
Consumable retaining ring
Pad wafer loss sensor: Dual sensors with light light pipe
Platen temperature control
Slurry delivery options:
Slurry delivery: (3) Slurries
No slurry flow monitor
EMO Guard ring
No smoke detector
Circuit breaker: 200 A
Wide type GFI: 30 mA
Spray gun
PC
Mouse
Power supply: 200-230 V, 50/60 Hz
2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa是晶圓研磨、研磨、拋光設備。它是單一的表面增強的理想選擇，以及包括矽（Si）、碳化矽（SiC）和氮化超（GaN）在內的多個晶體半導體底物。它采用雙頭主軸構建，使其能夠同時用於單面和雙面應用。它具有跟蹤和自動校正功能，這意味著它可以調整主軸的輸出，以確保在整個晶片上保持一致的光潔度。該系統采用高功率空氣軸承主軸設計，能夠保持一致可靠的研磨、研磨和拋光任務而不會產生振動。此外，它有一個內置的視覺單元，使它能夠保持一個安全和一致的模具位置。AKT Mirra Mesa也有獨特的動力轉換機，有助於保持最大扭矩的同時降低電機內的熱量。這有助於防止零件損壞,並有助於提高生產效率。該工具還具有易提砂漿供應資產。此模型有助於減少更換拋光板所需的時間,從而使設備更高效地運行。最重要的是，AMAT Mirra Mesa包括一個在線監控功能，包括壓力/深度、溫度和照明。這使操作員能夠確保系統運行最佳,從而提高設備的使用壽命和準確性。APPLIED MATERIALS Mirra Mesa采用高端功能設計,非常適合高產、高批量生產。適用於背磨、研磨、切片、切片、拋光等多種應用。它的設計還考慮了安全功能,例如高安全性蓋、操作員聯鎖機和自動關機,以幫助確保安全操作。Mirra Mesa還配備了一系列配件，包括磨料、盒式磁帶和金剛石滾筒，方便各種應用。此外,它方便用戶,易於安裝和操作,非常適合在各種生產環境中使用。利用AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Mirra Mesa, AKT為客戶提供了一個可靠高效的解決方案,以實現所需的表面光潔度。
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