二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #293795368 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa是一種自動化晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在提供卓越的單純度和表面光潔度,同時保持較低的芯片數量。該系統能夠處理晶片和晶片大小的基板，並具有機器人處理程序和真空拾取和放置單元，以實現晶片對準和自動映射。該機還具有內置CCD成像工具,用於分析晶片表面和定位缺陷,以及自適應光學器件和可定制的研磨/拋光參數。該資產配備了一級研磨工藝，在各類晶圓上實現亞微米表面光潔度。該模型還具有一個多區域研磨/拋光平臺，以最高精度同時拉圈/拋光多個晶片。該設備采用三維輪廓、邊到邊晶圓研磨、中心到中心拋光的獨特組合，實現了優越的單面和研磨平面優化。該系統由高扭矩電動機提供動力，可以處理非金屬和金屬晶片。AKT Mirra Mesa單元還提供了一些高級過程控制功能,以最大限度地提高效率和精度。其中包括在線真空的過程監控、電機控制、過程反饋、溫度感測等。該機器與Web監視和遠程追蹤工具集成在一起，以實現實時數據收集和分析。它還具有高級配方編輯器,可輕松優化過程。該工具能夠以高達500 rpm的速度處理1「至8」晶圓和晶圓大小的基板，非常適合光學和平面顯示應用等應用。資產還具有防汙設計，以消除結轉和汙染，以及全方位的工藝和設備安全特點。該型號既方便用戶又高度自動化，適合各種行業使用。憑借先進的性能和可靠的成果，AMAT Mirra Mesa是市場上最好的晶圓研磨、研磨、拋光系統之一。