二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9040372 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa晶片研磨、研磨和拋光設備是一種革命性的設備,它為生產精確到微米級的高精度晶片提供了全面的解決方案。該系統允許對直徑不超過200毫米的晶片進行高效研磨、研磨和拋光。除了各種材料的自動化工藝功能外，該單元還提供每個工藝周期後的自動化清洗。采用磨削工藝從晶片中除去多余的材料，使用旋轉磨料輪。根據應用要求，可以改變車輪材料、其等級和速度，以達到所需的表面光潔度。研磨工藝用於降低晶圓的表面粗糙度，並通過使用兩塊中間帶有磨料的旋轉板來實現。這些板采用受控方式設計，以確保表面粗糙度達到所需值。另外，可以調整板的轉速，以提供更均勻的研磨整個晶片。最後，拋光工藝采用化學溶液和研磨墊的組合，使晶片表面光滑平整。AKT Mirra Mesa在整個研磨、研磨和拋光過程中提供了高度的精度和均勻性，以及由於自動清潔機而改善的循環時間。該工具還設計用於處理多種材料，能夠產生0.14微米的精度水平。此外，資產配備了先進的診斷模型，允許用戶快速識別和解決任何潛在問題。設備由機器本身和與用戶的界面兩個獨立的部分組成。該用戶友好界面配備了直觀的圖形用戶界面，能夠快速設置和直接控制流程。此外,系統采用模塊化方式布置,可以選擇添加自定義模塊以滿足特定的流程要求。AMAT Mirra Mesa可以集成到現有的實驗室中,並提供各種選項來根據特定應用自定義設備,從而滿足對精度和性能的任何要求。