二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9075137 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa晶片研磨研磨拋光設備是一種多功能系統，最大晶片直徑200 mm，最大晶片厚度6.5mm。這種自動化設備非常適合需要高性能和高精度的應用,同時還能最大限度地減少浪費。機器包括一個單一的基板支撐與一個可調驅動輪，有助於控制晶圓轉速。基板支撐支持在一個線性運動階段上，允許在研磨、研磨和拋光過程中對基板進行精確的三維定位。此外，該工具還配備了一個提取器，有助於保持加工室的清潔度，同時也將研磨材料從晶圓上移開。該資產能夠研磨、研磨和拋光速度範圍高達35,000 RPM的扁平和半徑晶圓。先進的動態轉子利用離心力在整個研磨循環中對磨料介質施加適當的研磨力，確保從基板表面均勻去除材料。該型號還提供兩個可用於特殊應用的拋光頭。第一個噴頭設計用於一般拋光，並裝有噴氣清洗設備，最高使用速度可達10,000 RPM。第二個磁頭是高分辨率拋光機，用於更精細的光潔度和更精細的材料去除。該系統還提供高級工藝監控功能，提供工藝時間、研磨力和磨料粒度等實時信息。這有助於消除浪費並確保高質量的結果。此外,該部門的高級自動化功能支持半自動化流程,從而減少操作員的參與並提供更大的流程控制。總體而言，AKT Mirra Mesa晶片研磨、研磨和拋光機是一個完美的解決方案，適用於需要精確和可靠的應用。該工具的動態轉子、高分辨率光電傳感功能和先進的自動化功能都有助於提高其高性能和準確性,而其先進的過程監控功能則有助於最大限度地減少浪費並確保始終如一的高質量結果。