二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9077553 待售
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已售出
ID: 9077553
CMP system, 8"
Cross Assembly:
Absolute Encoder Harmonic Drive
(4) NSK Megatorque spindle assemblies with fuse blowing fix
(4) Vexta 5-phase head sweep motors
(4) Cu Titan polishing heads
(3) Platen system with Alpha low-noise gearboxes, Yaskawa motors w/ NEC compliant cables
(3) AMAT DDF3 pad conditioners
Cu Slurry delivery system
AMAT Copper Rinse / Slurry delivery arms
Leak proof polisher skins
Closed loop monitoring features
Fluid reduction package
Input voltage: 200-240 VAC 50/60 Hz
Integrated Mesa cleaner:
Wafer sense transfer station
Single wafer machined (leak proof) Megasonic tank
Vertical spin rinse dry station
Flow monitoring on all cleaner chemical and DI flows (On/off)
Edge grip automation
Side feed facilities and exhaust
Mesa power supplied by Mirra controller
Line of sight top cover between Mesa and Mirra
Digital ISRM monitor integrated into the polisher (all 3 platens) with:
Full face HW/SW capability and dual optical ISRM / iSCAN ISRM in platen 1
Missing parts.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa是一種晶圓研磨、研磨、拋光設備，設計用於高精度半導體器件的制造和工藝開發。該系統具有精密晶片表面精加工的多種工具，並配有用於實時過程監控的集成過程控制單元。該機器還提供自動晶片加載/卸載、自動過程序列控制和集成電氣測試等高級功能。AKT Mirra Mesa工具能夠研磨、研磨和拋光尺寸達200毫米的晶片。它還提供了多種工藝配方，包括電合成、去除缺陷、表面平面化、單面和雙面拋光等等。資產能夠控制和監控壓力、速度和溫度等過程參數，以確保精確的結果。它配備了具有內置安全特性的自動晶片處理模型和自動旋轉晶片表。AMAT Mirra Mesa設備還具有高精度視覺系統，具有先進的圖像處理、視覺輔助模式識別以及用於精確晶圓表面評估的計量工具。這個單元提供了對整個過程的準確性和可重復性的完全控制。它還能夠控制沖洗過程的進料速率和壓力。機器配備了先進的軟件和安全功能，以確保操作員和工具在操作過程中的安全。它還具有高級流程控制和監控功能，包括實時流程數據收集。該資產符合各種安全標準,如CE、UL和CSA。該模式還得到AKT致力於為客戶提供卓越技術支持和服務的支持。綜上所述，Mirra Mesa是一款高精度的晶圓研磨、研磨、拋光設備，旨在滿足半導體行業的性能要求。它提供了各種精密表面精加工的工具，以及集成的過程控制系統和先進的視覺系統。符合各種安全標準，為客戶提供卓越的技術支持和服務。
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