二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9104952 待售

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圖為 已使用的 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa 待售
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已售出
晶圓輪磨,研磨及拋光
製造商
AMAT / APPLIED MATERIALS
模型
Mirra Mesa
ID: 9104952
晶圓大小: 8"
優質的: 2001
CMP system, 8" System: Dry in / Dry out Process: Cu Software Polisher MB60a1 Cleaner CB22p2 Endpoint IB11h7 CPU Pentium III 400MHz Dual RAID HardDisk Yes HardDisk Size 68GB RAM 128MB Hardware Polisher /with Controller Mirra 3400 / 5200 Cleaner Mesa Indexer Rorze FABS SMIF # FOUP Install: (3) Metrology None Slurry(P1+P2+P3) ABCD Each Endpoint Laser P1 iScan Endpoint Laser P2 FullScan Endpoint Laser P3 None Polisher Middle Skins Opaque Pad Conditioner type Universal Platen Coating Teflon UPA Standard Chiller No Com Port Server Digi EL160 Cleaner Brush LDM Direct Feed LDM with entegris flow sensors Walking Beam PEEK Fingers with PP Grippers Slurry in CLC Yes Slurry Arm 4line Polishing Head Titan I Rotary Union 4-port Cross type Cattrack UPA 3 Port Megasonics yes SRD Yes Brush 1 yes Brush 2 yes PM reduction kit blackout covers Splash guard Exhaust blower Magnehelic Pressure Low Level detection kit SRD Exhaust Interlock 2001 vintage.
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AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa是一種最先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在在一系列晶圓應用中產生最佳性能。該系統由高精度光學研磨機組成，可精確研磨不均勻的表面結石。它具有雙軸電機控制單元，提供精確和可重復的磨削運動。該機還配備了提供閉環響應工具的紫外線固化劑。它被設計成快速、精確地將晶片圈入和拋光到完全平坦的表面。可調電源允許量身定制的結果，而真空保護的電子資產則阻止外國材料進入主要工作區域。AKT Mirra Mesa確保了平整晶片和輪廓晶片的出色表面光潔度和精度。它有一個專門的主軸設計，有助於精確的表面光潔度。內置冷卻劑模型進一步降低了晶圓熱損傷的風險，產生了高質量的結果。此外，該機的雙軸電機控制設備被設計為最大限度地減少振動，從而提高刀具壽命。總體而言,AMAT Mirra Mesa晶片研磨、研磨和拋光系統提供精確度和性能。其先進的冷卻技術確保了產品的一致性。內置真空保護單元將汙染風險降至最低。機器的雙軸電機控制工具進一步減少了振動和刀具磨損。因此,它可以精確地生產出具有理想表面光潔度的扁平晶片和輪廓晶片。
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