二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9117435 待售

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ID: 9117435
CMP system.
AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Mirra Mesa是專門為最苛刻的半導體測試而設計的精密晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統是提高晶片表面地形精度的理想之選,可用於切割、塗抹、電鍍、拋光等多種制造和試驗操作。該單元采用獨特的雙軸、旋轉平臺機,可同時研磨、研磨和拋光復合材料,(SiC、SiN等),或玻璃基板。這消除了對多步驟加工操作的需求,這可能會導致不一致(並導致晶圓產量低)。該工具包括三個用於研磨、研磨和拋光的獨立控制主軸。這些主軸中的每一個都由一個可編程軟件接口控制,允許調整一系列參數和設置以提高操作精度。研磨、研磨、拋光作業均在同一真空室下進行,確保了最高質量的效果。該資產還包括一個可選的自動基板尺寸調整轉換器,可用於根據晶圓的大小調整各個紡錘的速度,以達到盡可能最精確和可重復的結果。該轉換器還可用於控制和調整特定晶圓研磨型材的交叉研磨機/拋光機壓力。除了自動化處理之外,模型還包括一個集成的機器人機械手,使操作員能夠手動處理晶圓。這提供了更大的靈活性,並允許用戶自定義晶圓工藝以滿足特定的需求(即針對不同的蝕刻深度或剖面)。設備還包括先進的實時數據收集和監控功能,使操作員能夠快速準確地識別和排除流程問題。此外,該系統能夠生成具有詳細制造結果的自動化報告,這些報告可用於隨時間推移監測和改進生產過程。總體而言,AKT Mirra Mesa是一個頂級晶圓研磨、研磨和拋光裝置,旨在提高產量和降低半導體應用的生產成本。該設備先進的自動化、多功能性和實時數據收集功能使其成為復雜的半導體制造和測試操作的重要工具。
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