二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9228448 待售
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已售出
ID: 9228448
晶圓大小: 8"
優質的: 2004
CMP System, 8"
Process application: Oxide & Poly
EMO Type: Push bottom
Status light tower:
Red
Yellow
Green
FABS Configuration:
Type: SMIF / (3) Ports
Robot blade
Robot
No calibration computer
Fan unit
Floppy disk
Polish module:
Head type: Titan I
HCLU
Single wafer loss sensor
(3) Slurry arms type: Short
No facilities interface panel
Pad conditioner type: Cylinder
(3) Pad conditioners
Remote monitor: Table mount
Wet robot
Wet robot blade
Queue tank
Queue tank cassette
(4) Heads
(4) Rotation units
(4) UPA Sets
(4) Spindles
(4) NSK Rotation motors
(4) Head sweep motors
(4) Head sweep slider assemblies
(4) Head clamps
(3) Platens
(3) Platen motors
(3) Platen gearboxes
MESA Module:
Megasonics delivery type: Pressurized
AP50 Pump
Direct BU1 &BU2 Delivery type
No SRD heater lamp
Upper electronics box
Working beam
Input shuttle type: Half-moon
Chemical configuration:
HF
Slurry flow type: Slurry pump
NH4OH
CE Safety mark: English
CIM Configuration: SECS
Electrical configuration:
Line voltage: 208 V
Full load current: 170 A
Frequency: 50-60 Hz
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa晶片研磨、研磨、拋光設備是為矽晶片的高精度研磨和拋光而設計的自動化系統。此設備的設計具有超精確的性能和各種選項,包括能夠輕松定制技術以滿足任何客戶的獨特需求。這臺機器專為高水平的生產力、可靠性和效率而設計。該刀具具有高精度研磨拋光板和恒定循環環境。精密板由獨特的非刮擦材料制成，旨在確保質量結果和最小的表面損壞。精密板由可調節的速度驅動電動機驅動，允許精確控制研磨和拋光操作的速度和方向。AKT Mirra Mesa還配備了集成激光幹涉儀資產，用於監控研磨速度和精度。激光幹涉儀提供了有關研磨操作的確切位置和速率的數據，使模型能夠根據需要修改研磨速度和參數，以維持所需的工藝時間。集成的用戶友好圖形界面使用戶可以輕松控制和監控設備。該系統還采用了高精度的噴水泵機，為研磨和拋光作業提供了最佳的水流率。經過優化的噴水機允許更快、更安靜、更流暢的研磨操作。該工具還設計有獨特的粉塵和顆粒提取器，用於去除研磨和拋光板上的粉塵顆粒和其他汙染物。AMAT Mirra Mesa還擁有獨特的防塵資產，旨在保護整個包裝免受灰塵和其他汙染物的侵害。此外,該型號還配備了先進的冷卻設備,可快速冷卻板材並最大程度地減少與熱量相關的問題。APPLICED MATERIALS Mirra Mesa晶片研磨、研磨、拋光系統是一種精密精密研磨、拋光矽片的工程解決方案。集成的用戶友好圖形界面和廣泛的選項允許簡單高效的晶圓制備。該設備的先進技術確保了生產矽片的質量、可靠性和生產率,並具有快速的周轉時間。
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