二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9231620 待售

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ID: 9231620
晶圓大小: 8"
CMP System, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa晶片研磨、研磨和拋光設備是一種通用的系統,用於半導體材料如矽和砷化的精密超光滑拋光和研磨。該裝置旨在提供優越的表面平面度和缺陷減小,從而提高生產吞吐量和優化晶圓平整度。AKT Mirra Mesa機是一種全自動工具,具有一系列運動電源頭,可實現單軸和多軸精密拋光。其前瞻性設計允許整合額外的工作模塊,在這些模塊中,用戶定義的流程可以沿著生產鏈實施。這項資產還具有幾項突破性的性能指標,包括僅10秒的周期時間、高達5微米的高剛度和精度精度,以及優於0.1微米的位置精度。此外,該模型還有一個集成的冷卻劑輸送設備,確保工藝溫度保持在預定義的範圍內,這有助於優化質量和產量。AMAT Mirra Mesa系統具有多種安全功能,可幫助保護操作員和環境免受任何危險過程材料的侵害。這些功能包括可鎖定的過程中安全互鎖、輕型窗簾和雙手安全握把單元。綜上所述,Mirra Mesa晶圓研磨、研磨和拋光機是一款用途廣泛、功能強大的工具,為半導體材料的精確、高質量的研磨和拋光提供卓越的性能指標和安全特性。此資產可用於單軸和多軸拋光,並具有集成的冷卻劑輸送模型,可將工藝溫度保持在最佳範圍內,從而獲得最佳效果。
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