二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9232743 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa是一種自動晶圓研磨、研磨和拋光設備，設計用於精確研磨、研磨和拋光半導體晶圓。該系統由一個底架、一個晶片處理機器人、一個三軸龍門、兩個主軸驅動器以及一個集成的晶片磨床和拋光器組成。晶圓操控機器人具有X、Y、Z軸的運動特性，可以高達1 m/s的速度運行，具有亞微米定位的重復性。它能夠拾取和加載晶片，並配有一個力控進料器，用於操作員控制進料速率。機器人還配備了安全聯鎖裝置，以確保操作員安全，並幫助保護單位免受處理不當或其他事故的影響。三軸龍門用於定位研磨和研磨主軸以及晶圓機器人。它具有X、Y和Z運動軸,定位精度高達0.01mm。由兩臺獨立的高扭矩直流電動機驅動，由先進的運動控制器控制。兩個主軸驅動器用於旋轉研磨和研磨主軸,其特點是研磨主軸的變速驅動器高達1400 RPM,研磨主軸的變速驅動器高達8200 RPM。這臺機器還配備了自動晶片研磨機和拋光機，用於將晶片膝蓋和拋光到預定的厚度和表面光潔度。這是通過使用一個加工頭和磨料膜來完成的，它能夠達到高達3 µm的加工精度，可重復性高達0.3 µm。AKT Mirra Mesa是一種自動化工具，設計用於精密研磨、膝蓋和拋光半導體晶片，具有高端運動控制資產、兩個主軸驅動器以及自動晶片研磨器和拋光器。其優越的位置重復性和準確性，以及實現精確晶圓厚度和表面光潔度的能力，使其成為各種晶圓研磨、研磨和拋光應用的理想模型。