二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9275384 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa晶片研磨、研磨和拋光設備是一個自動化平臺，旨在有效處理半導體晶片。該系統具有高達200晶片/小時的吞吐量,並且能夠通過單一封裝配置進行研磨、研磨和拋光。高級控制單元允許跨多個平臺進行過程監控和統計過程控制（SPC）功能,同時利用高級機器人控制軟件提供對過程的最佳控制和準確性。AKT Mirra Mesa配備了多種組件，以確保晶圓的精確處理。這包括高速晶片卡盤、健壯的機器人手臂、磨頭和多軸床。床具有三維運動特點，設計用於在整個過程中保持穩定的基板位置。機器人臂通過提供拉力控制、速度調節和振動阻尼，幫助進一步優化過程。磨頭的設計目的是利用固定的半徑優化晶片的地形,並裝有硬質合金刀片,以確保精度和防止晶片表面因過度摩擦而損壞。此外,AMAT Mirra Mesa還提供了該機器獨有的過程控制功能。這包括編程特定研磨時間、速度、砂礫大小和其他參數的能力。它還配備了晶圓旋轉機構，以確保最大均勻度達到最佳表面光潔度。控制工具還允許用戶存儲可以從中導出處理參數的配方,以實現最佳的流程可重復性。該資產確保了每個晶片的高質量和可靠的光潔度。這包括高度的尺寸精度以及表面光潔度。它還能夠在金屬、氧化物和其他薄膜沈積之前產生更好的平面光潔度。Mirra Mesa非常適合半導體行業以及研發應用。