二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9398753 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa是一種尖端晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在為半導體制造和測試過程提供可靠、可重復和準確的結果。該系統使用旋轉磨輪、化學機械拋光(CMP)漿料和磨料研磨漿料來制造晶片。晶片磨削包括以小的受控運動將晶片靠在磨輪上,以達到一致的表面光潔度。在研磨過程之後,研磨過程用於平滑任何不規則現象並產生均勻的表面。研磨過程由一種泥漿組成,泥漿中的磨料顆粒循環到晶片上,而輪子則以圓周運動的方式向晶片移動。最後,拋光工藝包括可選地在漿料中添加更多的磨料和拋光劑,並在連續過程中對晶片進行輪壓。這將在晶片上創建一致且高度精確的光潔度。AKT Mirra Mesa配備了一個控制單元,用於管理工藝參數,晶圓實時監控和計量顯示,以及與外部計量儀器的接口。此外,該機器還通過全面的故障檢測和過程運行時檢查來提供高性能和高產率。該工具還帶有自動晶片制備,使晶片清洗和光刻過程自動化,進一步簡化和優化了整個材料表面制備過程。AMAT Mirra Mesa為制造高精度晶片提供了一種高效、經濟高效的方法。其廣泛的能力使其適合於大多數晶圓研磨、研磨和拋光工藝,其控制和監測系統使結果具有準確性、一致性和可重復性。此外,它的自動化晶片制備過程有助於簡化整個材料表面制備過程。
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