二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Ontrak #9064388 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra Ontrak是為半導體制造和MEMS/NEMS生產而設計的晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統采用精密的機械設計、先進的計量技術和一系列集成的工藝配方來實現納米級表面地形。首先，該單元由一個自動化平臺組成，可以在受控方向上精確定位兩個旋轉金剛石磨削點之間的晶圓。這使得精確的晶圓研磨和研磨過程能夠並行完成。機器還提供拋光操作，涉及化學機械平面化（CMP）過程，需要不同的拋光運動路徑和序列。該工具還具有高分辨率的可編程機器人資產，可以快速、自動地識別和測量晶圓的確切表面特征，並確定合成地形的準確性。這確保了磨削和拋光工藝的精確應用。該模型包括一個具有特殊晶圓冷卻機構的真空室，以確保晶圓溫度最佳，減少汙染物或顆粒附著在表面。真空室還能在拋光過程中實現晶片表面的超高平面化。最後，安裝了像素陣列攝像機設備，以精確測量晶片的表面特征和整個晶片表面的均勻性。這改進了流程控制,允許用戶在必要時快速調整流程參數。總體而言，AMAT Mirra Ontrak系統提供了一套一致、可靠和可重復的晶圓研磨、研磨和拋光工藝，這對於制造先進的半導體和MEMS/NEMS器件至關重要。其高度自動化、多方面的設計使其既具有用戶價值又具有成本效益,同時仍實現了高質量的表面光潔度。