二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Ontrak #9275382 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra Ontrak是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,用於從小到大晶圓規模精密加工半導體和光學元件。加工過程采用金剛石鍍圈、拋光頭和漿料，提供精確、可重復的性能。AMAT Mirra Ontrak由Applied Material和Mirra聯合開發技術。它利用獲得專利的Mirra DryClean Technology保持工藝環境幹燥和清潔。該技術不需要板鋸和化學蝕刻化學品，也不需要在工藝步驟結束時進行可選的漿液清洗。該系統采用全封閉式操作,可確保無灰塵環境以及高度自動化的參數,從而允許跨4英寸到200毫米的多個晶圓大小進行高吞吐量處理。也可用於加工藍寶石、石英等硬質材料。機器中使用的高級控制單元允許精確的自動參數設置,並對研磨質量、拋光參數、進料速率和晶圓水平進行多軸運動控制。這樣就可以輕松地為特定應用程序選擇最佳的流程周期,並對每個流程步驟進行精確調整。APPLICED MATERIALS Mirra Ontrak配備了高精度伺服電動機驅動器和多軸控制裝置,可實現均勻的光潔度、光滑的表面以及部分零件操作的近乎完美的可重復性。該機有6站索引、集成晶片壓力機和晶片夾緊機。這允許與其他工藝設備完全集成，使其成為從稀釋到拋光的全流量處理的理想選擇。這臺機器配備了直觀的觸摸屏用戶界面和強大的可視化工具,可以輕松設置和控制復雜的研磨周期和過程。此外,集成表面分析工具還提供了有關表面微觀結構和質量的詳細分析。總體而言，Mirra Ontrak是一個精密的自動化加工資產，用於從小到大晶圓規模的半導體和光學元件的精磨、研磨和拋光。通過集成的控制模型和先進的自動化，確保了可重復的性能和高精度的加工。該設備是從稀釋到拋光全流量處理的理想選擇。