二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Standalone #9313449 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra Standalone是一種高度自動化的設備,設計用於精密晶圓研磨、研磨和拋光。該系統包括晶圓研磨和拋光的精密級；晶圓研磨的COREBA級；以及晶圓吞吐量的Apex階段。精密級可以精確、自動研磨和拋光尺寸達200毫米的晶片。它具有預先編程的配方，可重復和可靠的拋光結果。該裝置采用可重復運動和壓力控制，采用集成視覺檢測機，以確保完美拋光。COREBA級是一種自動化的兩步晶圓研磨工具,適用於尺寸不超過200 mm的晶圓。它有一個獨特的中心真空設計，允許晶片與可變的力進行研磨。它包括用於處理不同晶圓尺寸的多個研磨板，確保晶圓的平整度和圓度。Apex階段是一個集成的晶圓吞吐量資產。它利用多種機器人技術，識別和對準晶片的視覺模型，以及模具連接能力。這樣可以通過設備精確處理多個晶片。整個系統設計精確度和可重復性。高精度運動控制確保晶片以一致和可重復的方式進行處理，從而獲得高質量的結果。該單元還包括錯誤報告和緊急情況下自動關閉等多種安全功能。總而言之，AMAT Mirra Standalone是晶圓研磨、研磨、拋光的先進機器。它具有每個操作的多個階段,均具有精確的運動控制和集成的視覺系統。它還包括安全特性和多種機器人技術的精密晶圓吞吐量.