二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Track #9223509 待售
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單擊可縮放
ID: 9223509
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
CMP System, 8"
Process: PCUD
System controller
Main system:
Polisher
Ontrak cleaner
FABS Cassette system
Missing / Faulty parts:
Pneutronic board
(2) Slip rings
Analog board
Cross motor
CPU: Pentium III 400 MHz
Dual RAID hard disk
Hard disk size: 68 GB
RAM: 128 MB
Hardware:
Polisher with controller: Mirra 3400 / 5201
Cleaner: Ontrak
Indexer: RORZE FABS
Slurry (P1+P2+P3): AB
Endpoint laser P1: IScan
Endpoint laser P2: FullScan
Polisher middle skins: P1 & P3 Dark skin, P2 clear skin
No chiller
Com port server: Digi EL160
Cleaner brush LDM: LDM With entegris flow sensors
Slurry in CLC
Slurry arm: (4) Lines
Polishing head: Titan I
Rotary union: (3) Ports
Cross type: Cattrack
Cassette slot run order (From slot 1 down to 25)
Platen teflon coated
Pad conditioner type: UNIVERSAL
Retainer ring type: AEP II
Membrane type: Silicone membrane
PC Diaphragm: DDF3 Diaphragm
Brush with core type: MYKROLIS Ontrak brush
Upgrade / CIP Retrofit details:
LLA Guide pin: Self align
PM Reduction kit: Partial
UPA: Waterfall
No splash guard
Exhaust blower
Magnehelic pressure low level detection kit
SRD Exhaust interlock
Queue tub
Blackout covers
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra Track是為半導體及相關行業設計的晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統旨在在高生產速度下提供卓越的表面平整度和表面缺陷減小。此單元的多功能性使其能夠處理多個晶圓配置和大小。AMAT Mirra Track的主要部件包括多葉片塗層晶片托架、無鑰匙環鉗、無鑰匙、多端口對準機和表面平坦度計量工具。塗層晶片托架設計用於將多個晶片牢固地固定在正確的方向，以確保最大程度的平整度和缺陷減少。無鑰匙環鉗確保適當的晶圓安裝和擺動。多端口對齊資產允許單次或分批手動和自動對齊晶片，而表面平坦度計量模型則允許直接測量表面平坦度。該設備能夠研磨、研磨和拋光射程高達25毫米的晶片。這可以通過使用不同的砂礫尺寸和拋光墊來實現，允許使用廣泛的工藝配方。該系統還可以編程為全自動閉環操作，用戶直接控制流程配方和參數。這允許用戶自定義特定應用程序的晶圓處理步驟。APPLIED MATERIALS Mirra Track的設計具有高級別的數據跟蹤功能,包括事件日誌記錄、過程數據存儲和遠程軟件診斷。這些功能使用戶能夠實時監控晶圓工藝質量和調整參數，以保持高水平的質量控制。總體而言,Mirra Track是一個通用單元,可用於多種不同的應用程序。其先進的特性和定制晶圓處理步驟的能力使其成為半導體及相關行業的寶貴資產。
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