二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra #9142631 待售

AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra是為晶圓研磨、研磨、拋光等高精度表面整理應用而設計的全自動工作站。該設備特別適合制造集成電路、半導體、MEMS和先進光電器件等電子器件。AMAT Mirra系統為各種材料的生產規模表面整理提供了一個通用、精確、安全的平臺。APPLIED MATERIALS Mirra單元配備了一個精密的運動平臺，集成了一系列經過認證的過程組件，以提供更高水平的過程控制。此平臺包括提供8軸運動控制、自動無傳感器測量、自動晶圓定向以及大量高級過程控制功能的過程控制器。運動控制機允許用戶精確定義和編程表面準備操作。該平臺還包括高速研磨盤、研磨板、拋光片、晶圓架等一系列先進晶圓研磨拋光配件。該工具專為快速吞吐量而設計,可提供8英寸的最大晶圓尺寸和高達1000 rpm的高速磨頭。該平臺還包括一個集成的熱管理資產，以幫助防止磨削和研磨操作期間的熱損壞。該模型可以調節刀具表面和加工面積的溫度，防止熱失控，確保高質量的表面光潔度。Mirra還具有一系列提高安全性和用戶舒適性的功能。內置的綜合排氣設備可捕獲灰塵和其他空氣中的微粒，並有助於維護工作站內的安全工作環境。保護窗罩允許用戶監視操作,同時保持與研磨區域的安全距離。最後，該系統包括了一系列智能過程控制算法，不斷監測和自動調整研磨操作，以保持最高水平的表面光潔度質量。AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra是制造商需要可靠、高效和精確的表面整理平臺的理想設備。它提供了控制和靈活性,可將過程微調至最高精度,並且其安全功能可實現安全高效的操作。該機專為快速吞吐量而設計，可處理多種材料，是工業或研究應用的理想選擇。