二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra #9142634 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra是為晶圓基板的高效加工而開發的晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統用於去除晶片表面的表面缺陷,以創建更耐用且無缺陷的表面。該裝置具有高質量的主軸電機，用於驅動基材的研磨和拋光過程。它還包括一個集成的風冷烤箱，有助於均勻加熱晶圓表面，使拋光磨料的最大用量得以使用，同時防止熱損壞。該機器由高精度晶片卡盤和動力分配頭組成，以確保晶片表面的重復性和一致性載荷和磨削。AMAT Mirra還具有精確可靠的真空晶片夾緊功能,能夠更快地研磨、研磨和拋光晶片。獲得專利的獨特工藝可確保在盡可能短的時間內生產出質量最高的晶圓表面。該工藝結合了采用金剛石粉塵的多步研磨工藝和運動學研磨頭，提供了優異的效果。該工具還具有全自動研磨資產，以促進高效操作。該模型采用5軸機器人平臺，用於晶圓的自動研磨、研磨和拋光。這有助於減少人工處理晶片所需的時間,從而縮短處理時間並提高生產率。該設備采用最新工藝和控制技術進行設計，以確保晶圓表面質量最高。這包括用於過程控制的集成環路控制器,以及用於確保可重復性和一致性的高級配方管理系統。總之，APPLIED MATERIALS Mirra是一種晶圓研磨、研磨和拋光裝置，設計用於高效、高質量的加工。該機具有高質量的主軸電機、烤箱、晶片卡盤、分配頭、真空晶片夾緊等特點。它還利用多步研磨工藝和5軸機器人平臺進行自動處理。最後，該工具還包括集成環路控制器和高級配方管理資產，以確保可重復性和一致性。