二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra #9160369 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra晶片研磨、研磨和拋光設備是一種最先進的自動化系統,旨在提供晶片表面的可控拋光,以提高半導體元件和組件的質量。該單元利用專有軟件來控制超精密光子學元件和子組件的研磨、研磨和拋光過程。該機包括一個緊湊的控制櫃來容納整個過程，包括底板、動力控制單元、電動主軸底座、研磨級和拋光頭。還有一個專用的壓力控制工具，結合了用於精確研磨、研磨和拋光操作的閉環控制壓力控制，以及用於精確過程控制的閉環反饋。該資產還包括一個強大的、可編程的數字伺服模型，以精確控制轉速、扭矩和動力到主軸和研磨階段，以及執行過程中研磨裝置監控。AMAT Mirra能夠提供200納米的受控研磨，以及1.5納米的貼近場研磨拋光。該設備非常適合進行生產質量測量，並且能夠保持高質量零件的一致結果。由機器人控制的拋光頭可達到晶圓表面的最佳生產精度和質量。這些晶片可以使用自動化加載程序和軟件控制在操作人員的最少幹預下進行加載和卸載。該系統用戶友好，符合人體工程學，能夠產生可重復的結果。該單元設計為提供優異的性能和較低的維護，周期時間與傳統手動處理相同。該機還設計為符合OSHA安全標準。APPLIED MATERIALS Mirra具有模塊化設計,允許在需要時添加其他組件。該工具還可以連接到其他AMAT晶圓處理系統，如APPLIED MATERIALS Mira III，用於更先進的晶圓研磨和拋光。該資產還與多個行業標準的光刻系統兼容，並與多個掩模生成系統兼容。整個過程高度自動化,可以精確控制。