二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra #9235104 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra是一種自動化晶圓研磨、研磨和拋光設備，用於半導體制造和先進材料生產。該系統利用精確控制的機器人機械手，可以從任何材料研磨、拉圈和拋光高精度晶片。該設備的功能允許提高吞吐量、提高產量和降低成本。該機設計用於快速準確地處理來自基材制造材料如矽等半導體、金剛石、玻璃、陶瓷等先進材料的晶片。該工具使用兩個獨立的機器人機械手-一個用於研磨和研磨，另一個用於拋光。每個機械手使用多個修剪頭來精確地執行研磨和拋光任務,並在晶片上產生所需的表面光潔度。該資產提供了對研磨速度、圈壓和拋光力的精確控制。它還能夠對表面光潔度樣品進行過程中的監測，以便在需要時采取實時的糾正措施。利用其閉環控制模型，AMAT Mirra能夠提供準確、可重復的輸出。APPLIED MATERIALS Mirra還提供了高度的靈活性。其機器人機械手可用於進行多種研磨和拋光操作（圖1）。它可以處理直徑可達500 mm的研磨/研磨，適用於晶片預清潔和晶片損傷修復等應用。拋光頭可以向下到達晶圓的中心，從而使拋光過程得到最佳控制。該設備還使工程師能夠根據所需的表面質量調整拋光工藝的攻擊性。此外,該系統還具有多種安全功能,可確保操作員的安全。該單元還包括帶有語音提示聲音警告機的安全面板。這樣可以防止意外接觸暴露的區域,並提供任何進程錯誤的可視警告。Mirra有助於減少加工時間、提高產量和降低生產成本,使其成為研磨、研磨和拋光晶片的理想選擇。它旨在滿足當今先進材料生產和半導體工藝的苛刻要求。