二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra #9241773 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra設備是一種高度先進的晶圓研磨、研磨和拋光工具,旨在幫助半導體和微電子制造商實現精確的表面制備和完美的平整度。該系統利用精密電機控制、動態力反饋、超低振動性能和真空晶片卡盤，最大限度地提高精度和可重復性。該裝置設有一個大的加工窗口，允許晶片尺寸達到直徑200毫米，能夠處理多種晶片類型，如標準級矽、石英和熔融二氧化矽。其專有的力反饋技術能夠對工藝進行主動控制,並能在5-10 nm左右精確地進行表面制備。這是通過其創新的動態研磨選項實現的，該選項可降低研磨力，提高輪廓均勻性和提高工藝吞吐量。AMAT Mirra機適用於金屬和介電膜平面化、晶圓變薄、絕緣子矽（SOI）等先進IC結構研磨等多種應用。該工具有多種可用的研磨選項，從粗磨到更精細的研磨工藝，如擺動研磨。APPLICED MATERIALS Mirra資產還提供了一些專門的工具，如車輪和壓板清潔劑、除塵系統、特殊的高精度晶片卡盤，以及額外的光學和幹涉測量選項，用於過程監測和控制。高度自動化的模型提供了對研磨過程的靈活性和精確控制,允許各種選項,如集成晶片卡盤、可調框架力、可調板壓、電機控制和自動研磨循環控制。此外，設備的實時物料去除率監測和滑移控制消除了工藝工件。綜上所述，Mirra系統是精密晶圓研磨、研磨和拋光應用的可靠且功能豐富的工具。可利用其自動作用力和壓力反饋能力、實時物料去除率監測、自動研磨循環控制等實現高精度表面制備。這一先進的設備比傳統方法有了很大的改進，使其成為半導體和微電子制造商的寶貴工具。