二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra #9256808 待售

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ID: 9256808
晶圓大小: 8"
CMP System, parts machine, 8" SECS / GEM Main frame Delivery slurry arm and pump Transfer cross base Polish upper platen Polish platen gear box System controller: Backside PCB board Controller down force: AB Board Inter platen Clean cup Breakers Monitor Damaged parts: (3) Lower platens (12) Cover scraps (6) I/O and interlock boards (3) Platen drivers and motors (4) UPA Rotations (4) NSK Motors (4) Spindles (12) UPA Regulators (6) MEI Boards (6) CPU Boards (6) PC Assembly retrofit ML (4) Heads HCLU Fabs relative part Cables DIW Mainfold retrofit ML DC Power supply Wet robot.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra是晶圓研磨、研磨和拋光設備,在晶圓加工周期中提供最高精度、精度和均勻性。該系統可以容納尺寸從300毫米到150毫米不等的基板,幾乎可以處理任何類型的材料。它具有先進的自動化運動單元,旨在減少基板和工藝的可變性,同時提高吞吐量。AMAT Mirra機配備了精密的晶圓拋光頭,減少了潛在的拋光磨料的可變性,無論基材取向如何提供一致的拋光結果。該工具還配備了閉環壓力和速度控制資產。這一特性有助於消除基材和工藝變化的可能性,同時提供均勻的拋光結果。該模型的先進運動控制平臺設計精密操縱晶片載體在拋光墊上,從而實現最佳的過程控制。APPLICED MATERIALS Mirra設備可用於處理包括矽膠、SiN、SiO2在內的多層膜型層。該系統具有獲得專利的獨立晶圓載波單元,可實現多個同時處理周期。此功能消除了手動處理工資的需要,並大大減少了停機時間。Mirra機也可用於進行邊圓、切塊、研磨和變薄操作。所有操作都是通過工具的高級控制組件實現的。AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra的全自動資產消除了對體力勞動的需求,提高了效率和生產率。此外,該模型還具有直觀的圖形用戶界面,可簡化設備的設置和使用。界面允許用戶監控系統,並在整個處理周期內進行必要的調整。區域和速度控制單元等安全功能還提供額外的保護,確保操作員在安全的環境中工作。總體而言,AMAT Mirra機器是一種功能強大、可靠、高效的晶圓加工工具。作為一種綜合性的、合一的資產,它為用戶提供了以高度準確和統一的結果生產組件的能力,而無需人工勞動。它直觀的圖形用戶界面和速度控制功能提供額外的安心和安全。利用APPLIED MATERIALS Mirra模型,用戶可以利用簡單明了的方法在晶圓處理周期中實現高精度和高精度。
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