二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra #9264177 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra
已售出
ID: 9264177
晶圓大小: 8"
Dielectric CMP systems, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra晶圓研磨、研磨和拋光設備是專門為半導體制造工藝設計的專用主力。該機采用集成、用戶友好的控制系統,先進的微觀結構設計提供了優異的拋光、研磨和研磨效果,其最先進的設計提供了卓越的沖孔可重復性和表面光潔性。AMAT Mirra包含了一系列專門為每個應用程序設計的拋光工具。這些工具有效地研磨和拋光半導體基板,並且可以在包括氧化矽、氮化的和相關材料在內的多種材料上操作。該機器能夠產生極其平坦的表面飾面,確保基板幾乎是完美的平面。它有一個水平面表,以確保一致的表面光潔度和靈活性,以適應不同的基板尺寸。它的多個平整校正傳感器在研磨過程中測量一個表面的平整度,允許精確的平整度控制和可重復性。自動裝置可以編程,以確保重復研磨,研磨和拋光過程具有相同的結果。其先進的自動化提供了顯著的流程產量改進。APPLIED MATERIALS Mirra包含一臺高級工藝控制機器,該機器可精確控制機器參數並監控過程中的溫度、壓力和材料去除速率。自動化刀具將工藝時間縮短50%以上,有助於降低材料成本。資產還提供實時流程監控,允許流程優化和減少浪費。機器的CnC控制器允許精確的零件定位和可重復性。其集成CCD模型可確保精確測量和易於測量。該設備還提供自動邊緣檢測功能,可實現無與倫比的定位精度。其他功能包括高級CnC系統、精密工具支架和觸摸屏用戶界面。Mirra在研磨、研磨和拋光操作方面提供了尖端的精度和可重復性。利用其最先進的技術和先進的工藝控制單元,確保了半導體制造工藝基板的卓越質量和表面光潔度。
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