二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra #9293685 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra是專門為半導體應用而設計的晶圓研磨、研磨和拋光設備。AMAT Mirra能夠實現超精密表面飾面和用於研發和生產目的的基板的精確形狀控制。APPLICED MATERIALS Mirra配備了先進的濕磨削和拋光工藝,通過生產針對CMP工藝中的門氧化物生長進行優化的優越表面光潔度,減少了對後拋光的需求。獨特的「墻塞」磨削控制系統，旨在減少磨削時基板打滑，導致更高的均勻性，提高晶圓平整度。Mirra還包括一個高合規性、低負載的機械化晶片夾緊單元，旨在改善步長控制。這臺機器有助於減少額外研磨過程的必要性，並最大限度地減少顆粒和表面刮擦的可能性。該工具還包括用於在加工站之間傳輸晶片的機器人晶片處理資產。這樣可以提高操作員的安全性,並能夠準確跟蹤生產和過程數據。該模型還采用了先進的原位洗滌和沖洗工藝，以實現高水平的汙染控制和延長工作壽命的自動化維護程序。AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra的設計滿足了半導體、MEMS和薄膜器件制造的嚴格工藝要求。它提供了高度的流程可重復性、廣泛的流程溫度範圍和集成的流程監控功能。該設備還設計用於促進高效和安全的操作,占地面積很小,可輕松融入工廠自動化環境。AMAT Mirra還配備了多語言操作員界面、直觀的系統導航和易於使用的圖形流程配方創建者。綜上所述，APPLIED MATERIALS Mirra是一款先進的晶圓研磨、研磨和拋光裝置，旨在滿足半導體、MEMS和薄膜器件制造的嚴格要求。它的獨特功能,如墻塞磨削控制、機械化晶片夾緊、機器人晶片處理、高級洗滌和沖洗工藝,以及自動維護例程,有助於在廣泛的溫度範圍內提供準確和統一的結果。