二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 #293625723 待售
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ID: 293625723
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
CMP System, 12"
Wafer shape: Notch
(3) Load ports, 8"
Dry in/dry out system
Clear type skin
MESA Cleaner type
Operator interface: FI Load port 4
Heater lamp
Polisher options:
Profiler head
4-Port Upper Pneumatics Assembly (UPA)
Dark pad sensor
KAWASAKI Wet robot
(2) Slurries pump type
Slurry dispense arm: Fixed
Platen configuration (1, 2, 3):
Platen type: PFA Coater platen
Platen pad: IC 1010
Platen pad conditioner: Screw-type disc
Cleaner options:
MEGASONIC Tank
Type: Pressurized
Scrubber module for 1 and 2:
Brush type: Texwipe PVA
Delivery type: Pressurized low flow
Upper E84 Senor and cable
KAWASAKI Single arm track robot
Standard load port: Operator interface
Load port: (25) Enhanced wafers FOUP
Facilities options:
Line voltage: 200-300 V
Line frequency: 50/60 Hz
GFCI: 30 mA
2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600是先進的晶圓研磨、研磨、拋光系統。這臺機器設計用於處理半導體晶片、MEMS元件、納米級器件等精細材料，精度極高。其設計還允許對工藝參數進行精確控制，以獲得最佳性能。AMAT Reflexion 3600利用滑水技術實現了晶圓和其他硬質材料的高質量表面光潔度和均勻性。水上飛機平臺允許工件與研磨、研磨、拋光墊連續接觸。這有助於最小化表面變色並減少處理時間。該機器包括一個具有自動停止功能的旋轉工作臺。這使用戶能夠根據需要準確控制去除或引入過程的物料數量。工作人員還配備了內置的後側空氣系統。這有助於減少變形和振動,從而產生準確、可重復的過程結果。APPLIED MATERIALS Reflexion 3600設計為每個晶圓的快速過程周期時間小於10分鐘,使用戶能夠快速實現所需的結果。機器還包括一個易於使用，直觀的用戶界面，幫助使設置和操作簡單。Reflexion 3600還具有多軸運動平臺，用於精確的背面研磨和研磨。它還包括一個前端環境外殼，旨在保護系統免受可處理的汙染。此外，該機標配了一系列傳感器和安全功能。這包括多軸碰撞檢測、防滑安全特征和振動保護。總體而言,AMAT/APPLICED MATERIALS Reflexion 3600是一臺功能強大、可靠且準確的機器,旨在幫助用戶實現精細材料的最高工藝精度。其精巧的設計使用戶能夠快速高效地實現其期望的結果。
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