二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 #9223700 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600是為研發和半導體制造而設計的先進晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統采用獨特的拋光方法，能夠產生非常精確和統一的結果。該單元包括一個帶有懸臂懸掛的壓力控制拋光頭，由智能測量機包圍，提供拋光過程的反饋。AMAT Reflexion 3600由一個懸掛式拋光頭和一個模塊化的壓板組成，可以調整以適應不同的晶圓尺寸。拋光頭包括懸臂懸掛工具，由自動壓力換能器啟動，無論晶圓厚度如何，都允許精確均勻的拋光。獲得專利的模塊化壓板能夠對晶圓的拋光表面進行精確的規範。它也是可調的，以適應不同的晶圓尺寸，從大模具到小尺寸的基板。此外,該資產還配備了一個自動壓力控制傳感器,可在拋光過程中讀取和響應接觸壓力的任何變化。這允許對各種晶圓類型的工藝參數進行自適應調整，如GaAs、Si、SiC和GaN。它還具有可調拋光速度和反饋模型，控制壓板速度，以保持一個統一的結果。此外,APPLIED MATERIALS Reflexion 3600還擁有先進的機器人裝載設備。這允許自動加載、部件傳輸和過程監視。該系統還具有內置診斷程序,可幫助用戶檢測和診斷設備問題。對於最高的拋光質量標準,Reflexion 3600包括一臺獨特的成像機,可捕獲拋光前後基板的高分辨率圖像。這允許直接比較和改進過程。它還將這些結果存儲在一個安全的數據庫中,以確保數據安全地傳輸給其他部門和人員。總體而言,AMAT/APPLICED MATERIALS Reflexion 3600是一種功能強大、精確、高效的晶圓研磨、研磨和拋光工具,設計用於各種SEMI標準基板。其特點使其成為研發和半導體制造應用的絕佳選擇。