二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 #9223702 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600是一種最先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備,設計用於在各種基板上生產光學平坦光滑的表面。其專利工藝利用專門設計的金剛石研磨/研磨石材將晶片的表面研磨成所需的粗糙度。晶圓研磨後采用多環拋光工藝，達到所需的光學質量。AMAT Reflexion 3600由一個緊湊但功能豐富的真空室組成，配備了最新的機器人和自動化技術。這允許更高的吞吐量和靈活性,以適應不同的產品、基材和尺寸。它配備了單晶片輸入和輸出技術以及多達18種不同基板的自動裝卸。該工藝的拋光步驟是使用金剛石加固滑輪完成的，該滑輪驅動晶圓靠著精密液壓夾具。這樣可以確保最佳的均勻性和對拋光工藝的控制。此外,系統還包含一個閉環自動壓力控制（CLAPC）模塊,用於監控拋光過程中施加到晶圓上的壓力,從而對結果進行精確控制。APPLIED MATERIALS Reflexion 3600的精密過程控制器提供了操作的完全自動化，並具有易於使用的圖形界面。這使得存儲和召回配方、設置策略、檢測異常和微調過程參數變得簡單。此外,它還提供對研磨和拋光工藝的實時監控,以及一套工藝診斷和錯誤代碼,使操作員能夠評估工藝在任何批次上的有效性。Reflexion 3600還設計用於確保安全和清潔的環境,因為它是完全封閉的,並使用安全殼裝袋裝置來保持腔室及其部件的清潔和無顆粒。此外，機器包括一個強大的真空工具，以清除空氣中的任何汙染物顆粒。總體而言，AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600是一種高效、可靠的精密研磨和拋光晶片的資產。其精確的過程控制、自動化的功能和強大的安全功能使其非常適合各種應用程序。