二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 #9223735 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600是一種晶圓研磨、研磨、拋光設備，用於處理半導體晶圓。AMAT Reflexion 3600專為優化吞吐量、靈活性和精度而設計。它采用緊湊的開放式足跡設計,為用戶提供最大的可訪問性,同時允許與自動化處理系統集成。APPLICED MATERIALS Reflexion 3600具有堅固可靠的磁懸浮直線電動機，提供高精度的定位和移動，使得晶圓定位精度和可重復性超過10 μ m。它還有兩個獨立控制的研磨/拋光頭，以容納直徑達200毫米的晶片，最大轉速為300 rpm。Reflexion 3600還包括一個真空輔助的「拖船」系統和一個可編程的橫頭，允許使用Z軸高度控制快速裝卸。該裝置還具有晶圓主軸的三維定位以及安裝硬件和漸進工藝功率曲線，以便在各種加工條件下獲得最佳效果。AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600設計用於安全和方便用戶的操作。它具有一個可以通過液晶觸摸屏顯示屏進行調整的控制機器，具有廣泛的參數，如RPM、扭矩、上移/下移、晶圓清洗、真空水平和自動分離。該工具還具有直觀的用戶界面，設計為高度用戶友好和直觀，使操作員能夠快速準確地編程和執行流程。AMAT Reflexion 3600是半導體制造和其他需要精確研磨和拋光工藝的應用的理想選擇。其高度精確的定位和可重復性,加上自動化的過程和用戶友好的控制,使APPLIED MATERIALS Reflexion 3600成為實現理想結果的可靠解決方案。