二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 #9379444 待售
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單擊可縮放
ID: 9379444
晶圓大小: 12"
優質的: 2003
CMP System, 12"
(3) Load ports
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
(3) Platens, 30"
Maximum speed: 133 RPM
Pad conditioner, 4"
3 Type DDF, 30-120 RPM
Slurry line: Maximum 400 ml/min
Torque end point system
(4) Heads:
Membrane press head: 3 Zones 0-15 psi
Spindle speed: Maximum 200 RPM
Cleaner 1:
Megasonic cleaner
With (2) rollers and idler
DIW Flow: 2.01 / min
Temprature controller: 20° - 50°
Wafer rotation speed: 6 RPM
Power: 950 kHz, 600 W
Cleaner 2:
(2) Brushes
With (3) rollers and idler
Brush rotation speed: Maximum 700 RPM
Wafer rotation speed: Maximum 50 RPM
DIW delivery: 2000 ml/min
NH4OH: 2000 ml/min
Brush rinse:
DIW: 1000 - 4000 ml/min
Cleaner 3:
(2) Brushes
With (3) rollers and idler
Brush rotation speed: Maximum 700 RPM
Wafer rotation speed: Maximum 50 RPM
DIW Delivery: 2000 ml/min
FPM: 2000 ml/min
Brush rinse:
DIW: 1000 - 4000 ml/min
Dryer:
Spin rinse dryer
Maximum speed: 2500 RPM
Infrared ramp heater: 1000 W
2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在在整個晶圓生產過程中提供精確、快速和一致的結果。該系統非常適合半導體和MEMS制造,在從金屬到陶瓷再到玻璃的各種基板上都具有強大的性能和多功能性。3600具有四個獨立的研磨/研磨位置,使其能夠一次處理多達四個基板,從而實現快速高效的生產。AMAT Reflexion 3600的負載部分支持容量為8英寸的200 mm晶圓。負載部分完全封裝在不銹鋼外殼中,以實現最大的安全性和性能。可調節的裝載和定位臺可以容納直徑在4到11英寸之間的基板。負載部分還包括高級傳感器和軟件,可實現精確的基板對準並防止誤載。APPLICED MATERIALS Reflexion 3600還具有高分辨率光學觀察單元和X 軸/Y軸運動機器,可容納各種基板尺寸和形狀。一個集成的分體架工具被設計為能夠精確放置基板。3600的研磨/研磨過程由先進且高度精確的伺服控制資產提供動力。這使操作員可以設定精確且可重復的進料速率、磨輪速度和金剛石輪速度，以達到最佳效果。該車型還配備了先進的安全設備，以保證操作員的安全。Reflexion 3600提供多種升級選項。可為特定的研磨、研磨和拋光應用安裝定制控制器。它還兼容了廣泛的定制磨輪、金剛石輪、平圈式配置。3600還包括功能強大的軟件套件,可方便安裝、自動化和過程監控。綜上所述,AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600是一種高度先進的晶圓研磨、研磨和拋光系統,可提供精確一致的結果。此單元具有多種高級功能和選項,可容納各種基板和應用程序。該機器設計為提供快速、高效、經濟高效的生產工藝。
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