二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion CMP #293655217 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion CMP設備是一種獨特的工藝設備,結合了研磨、研磨和拋光工藝。該設備專為精密晶圓精加工和拋光而設計。該系統將創新的拋光和材料去除技術應用於廣泛的晶圓生產操作,包括背面制備、正面清潔、非接觸式清潔、光學輪廓分析和其他應用。該單元配備了被動穩定的連續運動拋光機和工藝頭。主動控制的拋光頭用於實現表面材料的精確去除，是市場上最先進的工藝工具之一。拋光機采用旋轉拋光墊和磨盤，獨立驅動。這臺機器旨在提供高精度、重復性、低磨損和最小的材料損耗,同時提供光滑均勻的光潔度。Reflexion工具采用了專利磨料介質和無帶研磨、研磨、拋光技術的獨特組合。該工藝用於在晶圓拋光面上實現均勻均勻的表面光潔度。專利磨料介質是專為低曲率、低速、低偏轉而設計的，具有一致的表面光潔度。無皮帶研磨和研磨過程消除了操作員監督操作的需要，從而最大限度地減少了產品被過度加工的可能性。AMAT Reflexion CMP還包括一個自動化光學剖面儀，用於測量每個晶片在處理過程中的表面輪廓和狀況。光學剖面儀與資產集成在一起，對過程進行自動質量控制。內置的過程控制器可確保跟蹤和監視所需的過程參數,以確保達到晶圓精加工的最佳水平。APPLIED MATERIALS Reflexion CMP設計易於使用,具有用戶友好的界面和直觀的工作流程。機器效率很高，每個晶片通常只需幾分鐘就能完成精加工過程。該模型也非常可靠，可以容納各種各樣的基材尺寸、類型和厚度。總體而言，Reflexion CMP設備是那些希望在晶片表面上獲得卓越光潔度的人的理想解決方案。該系統將提供高精度的結果,並且需要最少的操作員幹預,幫助減少加工時間、人工成本和晶圓生產相關的材料損失。