二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion Desica #9293597 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion Desica是一種創新的晶圓研磨、研磨和拋光設備,可精確控制材料的表面曲率和光潔度。該系統設計用於直徑不超過200毫米的材料的非接觸磨削、研磨和拋光。它采用6軸機動化定位級,具有較高的位置重復性和分辨率,以確保每個工件都具有一致的光潔度,且每個工件之間的變化最小。AMAT Reflexion Desica由一系列組件組成，全部設計為和諧協同工作。主要部件是支持6軸定位的高分辨率磨床/磨床,可實現振動和旋轉運動。支持磨床/磨床的框架組件,以及用於精確結果定位的附加X和Y定位級,以及帶有軸承預緊力控制的主軸組件。一個泥漿儲層、一個拋光級和一個空氣補償模塊是單元的其他組成部分。整機采用靈活直觀的圖形用戶界面進行高級過程控制。用戶界面簡化了復雜的操作，方便了磨削和拋光過程的調整。可以通過同一接口遠程監控和控制流程的每個步驟，實時顯示和記錄收集到的數據。APPLICED MATERIALS Reflexion Desica還具有一個互鎖工具,該工具允許使用預先編程的過程配方,而只需最少的手動幹預。Reflexion Desica的設計考慮了精確度，具有精密研磨和拋光材料的能力。研磨拋光工藝可以使用智能圖形用戶界面進行高精度監控，客戶可以放心的是，以最高精度的工藝控制，最終產品將在所有片斷上保持一致。最後,針對生產環境中的可重復性和高吞吐量設計了該資產。AMAT/APPLIED Materials Reflexion Desica具有較高的重復性系數，可根據用戶定義的工藝參數產生優化的結果。