二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Copper #293652092 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK銅片研磨、研磨及拋光設備是一種多用途晶片處理系統，非常適合研磨貼合陽離子。它被設計為能夠在計量、變薄和金屬化加工之前對基板進行研磨、研磨和拋光的過程。該裝置能夠生產高質量、高精細的基板表面。AMAT Reflexion LK Copper是一種采用步進電機驅動速度控制的5室或6室機器。這使得該工具在研磨、研磨和拋光晶片時能夠達到很高的準確性和可重復性。該資產允許快速修改流程參數,從而確保優化流程以滿足所需應用程序的規範。此外，該模型能夠在整個研磨和拋光過程中實現動力、力和壓力的控制。APPLICED MATERIALS Reflexion LK Copper設備配備了可變壓力和溫度控制系統。這使得該單元能夠精確調節壓力力、研磨速度、泥漿溫度和表觀壓力，而不考慮晶圓材料的類型。機器能夠在所有加工區域產生均勻的研磨條件，從而提高加工速度、精度和可重復性。Reflexion LK Copper還結合了一系列獨立的工藝電機，實現了高度的靈活性和工藝參數的定制。電動機和電動機/漿液罐之間的間距是可調的，使工具能夠最適合於不同類型的晶圓材料。此外，該資產還配備了內置液體和空氣過濾模型，確保磨料漿料快速過濾且不受幹擾。最後,AMAT/APPLICED MATERIALS Reflexion LK Copper包括觸摸屏用戶界面和全面的內置食譜庫,使用戶能夠配置和存儲流程數據,以便根據需要優化流程周期。此外，設備還可與各種計量儀器相結合，便於進行準確和完整的過程分析。綜上所述，AMAT Reflexion LK銅片研磨研磨拋光系統為晶片研磨、研磨和拋光等磨料應用提供了一個極好的平臺。它結合了高精度、靈活性和用戶友好的用戶界面,確保了成功的流程結果。