二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Copper #293802361 待售

AMAT （APPLICED MATERIALS） Reflexion LK Cupper是晶圓研磨、研磨和拋光的全循環設備，設計用於生產復合半導體材料如3D常規和3D集成電路。該系統包括生產這種復雜結構所必需的一系列組件，這些組件對於各種工業需求都是必不可少的。首先,LK Copper采用自動晶片研磨機,能夠精確研磨從150毫米到100毫米及以下各種晶片尺寸的邊緣和表面。晶圓研磨機具有最大限度地減少汙染和降低熱暴露的特性,可實現高工藝重復性和可靠性,非常適合精加工復雜結構。接下來，LK Copper單元的研磨站是一個高品質的拋光解決方案，為最佳性能而設計。該研磨站配備了先進的子孔徑拋光技術，能夠生產出符合嚴格平整度和粗糙度要求的表面。這樣可以確保獲得所需的表面光潔度,同時將熱應力降至最低並確保最大吞吐量。最後,LK Copper的拋光站配備了一系列自動化工藝,可最大程度地減少表面缺陷水平並確保均勻的表面光潔度。這些工藝包括先進的平面化技術、化學機械拋光（CMP）和電化學機械拋光（ECMP）能力，以及其他先進技術。這些過程的結果是滿足3D常規和3D集成電路要求的曲面,包括尺寸可達150 mm的晶片。總體而言，AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK銅片研磨、研磨和拋光機為復合半導體材料的制造提供了適合各種工業應用的集成解決方案。該工具的組件專為精度和可靠性而設計,可實現高流程重復性和最大吞吐量。LK Copper生產的表面滿足嚴格的平整和粗糙要求,從而確保結構完整性和尺寸穩定性。